人们都知道,高效的供应链管理、敏锐的市场把握能力、成熟且快速的软硬件研发能力是山寨产品顽强生命力的保证,排除部分采用劣质元器件山寨厂商外,低成本实现能力无人能匹敌。在半导体制造领域,国内材料供应能力一直是个薄弱环节之一。经过近两年持续努力,国内半导体材料供应商的技术能力及服务能力得到快速提升,在高纯CU电镀液、SOI外延片、CMP抛光液、清洗液及高纯化学试剂等新材料、新工艺方面取得可喜进展。目前,这些中国本土的后来者,正以专业者姿态蚂蚁雄兵式向国际寡头要市场。
上海新阳正积极向前道制造应用拓展。据上海新阳半导体材料有限公司总工程师孙江燕介绍,铜互联电镀液SYS201是专用于线宽90nm以下芯片铜制程中的电镀液。主要特点为高纯度、超洁净度、没有添加任何有机物。SYS201选用了先进的多级电解提纯工艺技术和可靠的检测系统,从根本上保证了产品生产过程中工艺条件的可靠性和产品质量的稳定性。与新加坡方面展开TSV(through-siliconvia穿透硅互连)微孔电镀技术开发,孙江燕表示,其产业化前景取决于国内IC设计业的需求。
安集的产品领域包括如集成电路行业的化学机械抛光液等和太阳能行业中的切割浆料及相关化学品的解决方案。目前,安集研发和生产的化学机械抛光剂和清洗液等产品已与全球数十家客户在进行着各阶段的合作,其中包括多家世界著名芯片企业和太阳能企业。安集微电子有限公司总裁俞昌表示,国内新兴专业材料公司通过本土化合作,可大大缩短相应的测试时间。据悉,安集抛光液产品可满足300mm、45nm技术节点的工艺需求。
上海新傲科技有限公司是中国唯一的SOI材料生产基地,也是世界上四大SOI材料规模化供应商之一,拥有SIMOX(注氧隔离)、Bonding(键合)和Simbond(完全自主开发的SOI新技术)三类SOI晶片制造技术,能够提供4-8英寸SOI晶片和SOI外延片。据新傲科技常务副总经理张峰介绍,目前新傲产品90%以上销往美、日、欧、俄、韩、台湾和新加坡等地,并成为Intel、Samsung、Infenion等国际知名公司供货商。今年新傲还将从美国IBIS公司引进一条8英寸SOI生产线。
由上海华谊集团与台湾联仕电子化学材料股份有限公司(AUECC)合资组建的上海华谊微电子材料有限公司主要生产质量达到SEMIC12(PPB级)标准供大规模IC制造所需的超净、高纯硫酸等各种主要化学品,完全可满足8英寸以上芯片工艺要求。华谊微电子总经理黄连信表示,公司所有原材料均在国内采购工业级基础上加工成电子级应用产品,这改变了微电子化学品产业链相互割裂的状况,提高了微电子化学品产业链的整体运行效率。
作为中国首个半导体工业用溅射靶材生产基地的宁波江丰电子材料有限公司,是“863”新材料技术领域重大专项项目“大尺寸超高纯铝靶材制造技术”的子课题承担单位,其“超大规模集成电路PVD工艺制造用铝和钽溅射靶材的产业化”获得工信部2008年度电子信息产业发展基金。江丰电子总经理姚力军表示,目前中国企业能提供高纯度的金属,却不清楚如何切入半导体生产工艺,江丰电子通过与西部金属材料企业合作满足东部晶圆厂的需求,改变国际靶材企业在国内采购原料加工后将成品靶材以高于原材料几十倍甚至上百倍的价格卖回国内的现状。姚力军说,“江丰电子就是要让国际靶材市场寡头感到狼来了!” |